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工藝氣體專用過濾器_高純UHP超純氣流微粒直通一體式過濾器


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產地: 廣東深圳
  • 材質: 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產品詳情

    TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產純凈度。

    其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

    W型一體式過濾器特點:

    .全焊接結構,杜絕泄露過濾面積大,流量系數高,

    .逆流時,可完成沖洗過程

    .閥體和過濾元件全滲透焊接

    .過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um

    .工作壓力可達:414bar(6000psig)

    .工作溫度:-28~+482°℃

    產品參數

    濾芯材質 316L不銹鋼粉末燒結 殼體材質 316L不銹鋼
    氦氣驗證泄漏率 2×10-10cc/min 氦氣測試泄露率 1×10-10cc/min
    表面處理 外表面 Ra < 1.6μm 最高使用溫度 惰性氣體 400-500°C
    內表面 Ra < 0.2μm 腐蝕性氣體,反應氣體 50C
    顆粒攔截效率 z99.9999999%(9LRV)@30slpm 下游潔凈度 s0.03particles/liter
    @>0.01um,30slpm
    顆粒攔截粒徑 ≧0.003μm

    過濾面積

    過濾器類型 過濾面積規格 過濾面積mm2
    燒結式 濾網式
    W型一體式 / / 254

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