DF系列擴(kuò)散器專用過(guò)濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)? ?穩(wěn)壓、穩(wěn)流、規(guī)避湍流，結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性、擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003um。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、不僅確保高效過(guò)濾、更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生、對(duì)工藝室環(huán)境造成影響、有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計(jì)、靈活適應(yīng)各類安裝空間。

產(chǎn)品特點(diǎn)

不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)、可快速排氣

整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

適用于多種工藝氣體

潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

100%完整性測(cè)試通過(guò)

100%氨氣泄露檢測(cè)通過(guò)、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

防止微粒混入、幫助提高產(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)

技術(shù)參數(shù)

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