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氣體過濾IGS面板專用過濾器_半導體潔凈高純氣體過濾器 兼容多種密封


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產地: 廣東深圳
  • 材質: 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產品詳情

    SF系列IGS面板專用過濾器、用于半導體行業集成氣體輸送與控制系統、兼容C型和W型多種密封規格、實現0.003μm級高效顆粒過濾、保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量、適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造、堅固耐用、緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的表面安裝元件、便于系統集成與模塊化設計升級、安裝維護便捷高效。

    產品特點

    ? 整體316L不銹鋼結構

    ? 小型化設計、結構緊湊、不占用空間優異的氣體置換和解吸特性

    ? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

    ? 電解拋光316L不銹鋼外殼

    ? 安裝與檢修便捷高效

    ? 采用機械密封、結構上與介質無焊接

    技術參數

    濾芯材質 316L不銹鋼粉末燒結 殼體材質 316L不銹鋼
    最大進氣壓力 3.4Mpa@100°C 最大工作壓差 0.69Mpa@100°C
    氦氣驗證泄漏率 1×10-10cc/min 氦溍照氣測試泄漏率 1×10-10
    cc/min
    表面處理 外表面 Ra < 1.6μm 最高使用溫度 460℃C
    內表面 Ra < 0.13μm
    顆粒攔截效率 ≧99.9999999%(9LRV)@120slpm
    (參考MPPS所有顆粒)
    下游潔凈度 顆粒釋放:<0.03particles/liter
    (<1particle/ft3)greater than 0.01μm
    Volatiles:<10ppb moisture
    顆粒攔截粒徑 ≧0.003μm 流量范圍 0~120slpm

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