深圳恒歌大流量真空系統(tǒng)優(yōu)選 深圳恒歌KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器，以KF40真空卡環(huán)為連接核心，專為大流量氣體傳輸場(chǎng)景設(shè)計(jì)，適配中大型真空系統(tǒng)高效運(yùn)行。

KF40 真空卡環(huán)連接口徑適配大流量需求，安裝便捷且密封性強(qiáng)，能快速與過濾器、真空管道對(duì)接，確保氣體傳輸穩(wěn)定。搭配過濾器可實(shí)現(xiàn)清潔、快速的回填過程，有效提升大流量場(chǎng)景下的產(chǎn)品產(chǎn)量與設(shè)備吞吐量，規(guī)范操作下產(chǎn)品完整性達(dá) 3.000.000 次循環(huán)。

核心產(chǎn)品特點(diǎn)

●?減少排氣湍流：大口徑流道設(shè)計(jì)，配合過濾器結(jié)構(gòu)，降低排氣紊流;

●?適配多類氣體：兼容各類工藝氣體，滿足大流量氣體過濾需求;

●?潔凈全流程：卡環(huán)與過濾器均在潔凈室生產(chǎn)檢測(cè)，杜絕污染;

●?100% 完整性檢測(cè)：嚴(yán)格出廠測(cè)試，保障大流量場(chǎng)景下的可靠性。

應(yīng)用上，適用于大型半導(dǎo)體設(shè)備接口(如大型 PVD、Epi 設(shè)備)及大型真空室(傳輸、工藝腔體)通風(fēng)，尤其適合短時(shí)間傳遞大量氣體流的場(chǎng)合，為中大型真空系統(tǒng)提供穩(wěn)定保障。