電子特氣管道系統是半導體、顯示面板、電子元器件等高端電子制造業的關鍵基礎設施，負責輸送光刻氣、蝕刻氣、摻雜氣等特種氣體，其核心要求是無泄漏、無雜質、高純凈，直接影響電子元件的性能與良率。?

1. 為何需要使用過濾器？?

電子特氣本身可能含微量微粒、金屬離子雜質，管道輸送過程中也可能產生氧化碎屑、密封件磨損顆粒；這些污染物會導致芯片短路、顯示面板像素缺陷、電子元器件性能衰減，過濾器是電子特氣管道系統中不可或缺的 “純度保障關卡”。?

2. 過濾器介紹?

恒歌 TF 系列電子特氣管道系統專用過濾器，專為電子特氣的高純凈、強腐蝕特性設計，采用 316L 不銹鋼鍛造結構，搭配特種密封材質，精準清除超純氣流中的微粒、金屬雜質，安裝簡便且密封性能優異，避免特氣泄漏與二次污染。?

3. 過濾器特點?

? 316L 不銹鋼全結構 + 耐腐蝕密封，適配氯氣、氟化氫、磷化氫等強腐蝕性特氣?

? 超高密封性能，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，符合電子特氣輸送安全標準?

? 低流阻設計，不影響特氣輸送流速，保障管道系統流量穩定?

? 過濾精度覆蓋 0.003μm-5μm，支持定制化選型?

? 100% 完整性測試 + 氨氣檢漏，滿足 ISO 14644-1 Class 1 潔凈標準?

? 可重復使用，更換濾芯即可，降低使用成本?

4. 產品應用?

半導體晶圓制造特氣輸送管道、LCD/OLED 顯示面板特氣系統、電子元器件生產特氣管道、光伏電池特氣輸送系統、半導體封裝測試特氣管道?

5. 常見問答?

Q：過濾器能否兼容所有電子特氣？?

A：適配 95% 以上常用電子特氣，包括惰性氣體、腐蝕性氣體、易燃易爆氣體，特殊氣體可提供定制化材質方案。?

Q：濾芯的使用壽命是多久？?

A：常規使用條件下，濾芯壽命為 8-12 個月，具體需根據特氣純度與使用流量調整。?

Q：安裝是否需要專業技術人員？?

A：無需！采用快裝式結構，僅需氣路對接與螺母緊固，普通操作人員即可完成安裝。?

Q：是否符合半導體行業 SEMI 標準？?

A：完全符合 SEMI F20、SEMI F37 等相關標準，可直接應用于半導體工廠特氣系統。?

6. 選型指引?

如果您不確定特氣類型對應的過濾器材質、過濾精度或安裝規格，歡迎聯系我們，為您提供精準選型方案！?