半導體潔凈高純氣體過濾器_電子級特氣氣體過濾器
隨著半導體產能的提升,工藝氣體的供應量也隨之增大,大流量過濾器成為生產線的關鍵設備。深圳恒歌 BF 系列大流量過濾器,專為滿足大流量需求設計,是大流量過濾器中的高效解決方案。?
其創新的多柱狀或疊盤狀介質設計,大幅增加了有效過濾面積,使得氣體在高流量狀態下仍能平穩通過,阻力損失遠低于傳統過濾器,降低了氣體輸送系統的能耗。在保證大流量的同時,0.003μm 的過濾精度絲毫未打折扣,確保高流量下的氣體純度。全 316L 不銹鋼結構強度高,能承受大流量帶來的系統壓力,長期運行不易變形。整體設計便于安裝與維護,適配大產能生產線的連續運行需求,有特殊需求可定制加工,滿足不同流量規模的生產要求。?
產品特點:?
●?大流量設計,適配高產能生產?
●?低阻損特性,降低系統能耗?
●?高流量下仍保持超高過濾精度?
●?高強度結構,耐受系統壓力?
●?易于安裝維護,適合連續運行?
●?支持定制加工,滿足特殊需求?