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高壓高純度氣體過濾器_壓縮空氣氨氣濾芯納米級過濾器


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產(chǎn)地: 廣東深圳
  • 材質(zhì): 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產(chǎn)品詳情

    HF系列不銹鋼高壓氣體專用過濾器它用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合、兼具強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物、保護系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運行。濾芯可更換、維護簡便。

    產(chǎn)品特點

    1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

    2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個高壓氣體過濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格

    3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

    4、過濾效率高、不易堵寒

    5、安裝與檢修便捷高效

    6、100%完整性測試通過

    7、100%氨氣泄露檢測通過

    技術(shù)參數(shù)

    濾芯材質(zhì)?? ? 316L不銹鋼粉末燒結(jié) 殼體材質(zhì) 316L不銹鋼
    表面處理??? 內(nèi)表面??? Ra < 1.6μm 過濾精度μm ≥10~0.003?
    外表面??? 電解Ras0.13μm?
    最大工作壓差 500bar 最大工作壓差 5bar
    最高使用溫度 600°C 下游潔凈度 ≥0.03particles/liter
    @>0.01um rated flow
    氦氣驗證泄漏率 1×10-1′cc/min 氦氣測試泄漏率 1×10-9cc/min

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    半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_03.jpg

    半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_04.jpg

    半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_05.jpg

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