在半導(dǎo)體制造的微觀世界里，電子特氣的純度直接決定著芯片的性能與良率。哪怕是百萬分之一的雜質(zhì)顆粒，都可能導(dǎo)致電路短路或器件失效。作為氣體輸送系統(tǒng)的核心凈化設(shè)備，電子特氣精密過濾器的性能成為衡量半導(dǎo)體制造水平的關(guān)鍵指標之一。深圳恒歌憑借多年在高純氣體處理領(lǐng)域的技術(shù)積累，推出的三大系列過濾器，以微米級的過濾精度與工業(yè)級的可靠性，為半導(dǎo)體、LED、光伏等高端制造領(lǐng)域筑起一道堅實的潔凈防線。

HF 系列高壓氣體專用過濾器堪稱高壓環(huán)境下的 “凈化專家”。其采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，這種材質(zhì)在抗腐蝕、耐高溫方面的表現(xiàn)尤為突出，能夠輕松應(yīng)對半導(dǎo)體制造中常見的腐蝕性特氣。50MPa 的設(shè)計壓力使其可以適配高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)，在保證高強度的同時，相對較輕的重量和緊湊的結(jié)構(gòu)大大減少了安裝空間。螺紋連接的方式確保了整個過濾器的密封性，并且兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，滿足不同系統(tǒng)的連接需求。在過濾性能上，它能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物，為后續(xù)制程提供潔凈的氣體源，從而保護系統(tǒng)免受污染，保障設(shè)備高效運行。

OF 系列在線式專用氣體過濾器則是高流量場景下的理想選擇。專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，其過濾精度高達 0.003μm，能夠攔截極其微小的顆粒雜質(zhì)。全焊接 316L 不銹鋼外殼不僅保證了結(jié)構(gòu)的強度，還確保了與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。在大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒中，它能穩(wěn)定發(fā)揮作用，為半導(dǎo)體、LED、光伏及 MEMS 設(shè)備連接提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。同時，該系列過濾器還具備高流量、高強度、穩(wěn)定可靠的特點，可選其它點位在線安裝，方便快捷的安裝方式大大提高了系統(tǒng)集成的效率。

SF 系列 IGS 面板專用過濾器在集成化方面表現(xiàn)出色。用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，它兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，實現(xiàn) 0.003μm 級高效顆粒過濾，保障 9-LRV 清潔度。支持高達 100slpm 的大流量，能夠助力設(shè)備升級無憂。全 316L 不銹鋼構(gòu)造使其堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)，在保證密封性的同時，也減少了安裝空間的占用。采用符合 SEMI 標準的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級，安裝維護便捷高效，為用戶節(jié)省了大量的時間和人力成本。

值得一提的是，深圳恒歌的這三大系列電子特氣精密過濾器都經(jīng)過了嚴格的質(zhì)量檢測。每一款產(chǎn)品都 100% 通過完整性測試和氨氣泄露檢測，確保在實際運行中不會出現(xiàn)泄漏等問題，為用戶提供了可靠的質(zhì)量保障。而且，濾芯可更換的設(shè)計使得維護更加簡便，降低了設(shè)備的后期使用成本。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的今天，對電子特氣的純度要求越來越高，電子特氣精密過濾器的作用也愈發(fā)重要。深圳恒歌始終以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動，不斷提升產(chǎn)品性能，為全球半導(dǎo)體制造企業(yè)提供高品質(zhì)的過濾解決方案，守護每一個精密制程的潔凈環(huán)境。