在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等高科技領(lǐng)域，氣體的純凈度直接影響產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。0F系列在線式專用氣體過濾器專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，憑借其卓越的性能和先進的技術(shù)，成為這些行業(yè)氣體過濾的首選。此外，該系列中的哈氏合金在線式氣體過濾器更是針對特殊工藝需求，提供了更為可靠的解決方案。

專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計

0F系列在線式專用氣體過濾器采用先進的過濾技術(shù)，過濾精度高達0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保氣體的超高純度。其緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計和高強度的材料選擇，使其在高流量氣體輸送過程中表現(xiàn)出色，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體的凈化處理。

先進的結(jié)構(gòu)設(shè)計與材質(zhì)選擇

0F系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，整體結(jié)構(gòu)堅固耐用，不僅確保了與多種半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性，還能夠適應(yīng)高溫、高壓等復(fù)雜工藝條件。316L不銹鋼粉末燒結(jié)濾芯材質(zhì)，進一步提升了過濾器的性能和使用壽命。內(nèi)表面經(jīng)過特殊處理，進一步降低了氣體輸送過程中的污染風(fēng)險。

產(chǎn)品特點

● ?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)：堅固耐用，耐腐蝕性強，確保長期穩(wěn)定運行。

● ?適合高溫應(yīng)用：能夠適應(yīng)高溫工藝環(huán)境，滿足半導(dǎo)體制造過程中的嚴格要求。

● ?超高顆粒攔截率：過濾精度高達0.003μm，有效去除氣體中的微小顆粒，確保氣體超高純度。

● ?高流量、高強度、穩(wěn)定可靠：緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計和高強度材料，確保高流量氣體輸送的穩(wěn)定性和可靠性。

● ?適用于多種工藝氣體：與大宗氣體及惰性氣體兼容，滿足不同工藝需求。

● ?可選其他點位在線安裝：靈活的安裝方式，方便快捷，便于集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。

● ?100%完整性測試：出廠前經(jīng)過嚴格測試，確保過濾器的完整性和性能。

● ?100%氨氣檢漏測試：嚴格的質(zhì)量控制，確保過濾器的密封性和可靠性。

應(yīng)用領(lǐng)域

0F系列在線式專用氣體過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等行業(yè)，尤其適用于以下場景：

● ?大流量特種氣體供應(yīng)：為高純度氣體供應(yīng)提供可靠的過濾保障。

● ?超高純度氣棒：確保氣體在輸送過程中的超高純度，滿足高精度工藝需求。

● ?閥歧管箱、氣柜等工藝需求：為復(fù)雜的氣體輸送系統(tǒng)提供高效的過濾解決方案。

哈氏合金在線式氣體過濾器

針對特殊工藝需求，0F系列還提供哈氏合金在線式氣體過濾器。哈氏合金具有優(yōu)異的耐腐蝕性和高溫性能，能夠滿足更為苛刻的工藝條件。這種過濾器特別適用于需要高耐腐蝕性和高溫穩(wěn)定性的應(yīng)用場景，如某些特殊化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝。

為高科技行業(yè)提供可靠的氣體過濾解決方案

0F系列在線式專用氣體過濾器憑借其卓越的性能、先進的技術(shù)以及靈活的定制化服務(wù)，成為半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等行業(yè)氣體過濾的不二之選。選擇0F系列，就是選擇高純度、高效率和高可靠性的氣體過濾解決方案，讓我們共同助力高科技行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。