F型直通式過濾器_高純工藝氣體過濾器
在半導體潔凈室有限的安裝空間內,設備的體積與性能往往需要精妙平衡。深圳恒歌推出的 F 型直通式過濾器,以 “緊湊設計 + 高效凈化” 的雙重優勢,成為半導體工藝氣路中的理想選擇,完美適配空間受限的生產場景。?
作為 TF 系列的重要成員,F 型直通式過濾器延續了整體 316L 不銹鋼結構的高品質基因。這種材質賦予過濾器出色的耐高溫(-28~+482℃)、耐高壓(可達 207bar/3000psig)與耐腐蝕性能,無論是面對半導體制造中的蝕刻氣體、沉積氣體,還是其他腐蝕性工藝介質,都能保持穩定運行,避免材質老化帶來的凈化失效風險。?
在核心過濾性能上,F 型直通式過濾器具備超高顆粒攔截率,能精準捕捉 UHP 超純氣流中的微小雜質,確保進入生產設備的氣體純凈度達標,從源頭規避微粒對半導體晶圓的污染。同時,其高通量、低阻力的設計特點,可在高效過濾的同時減少氣體流動損耗,保障氣路系統的穩定壓力與流量,不影響生產節拍。?
安裝便捷性是 F 型直通式過濾器的另一大亮點。無需復雜焊接,僅需通過氣路對接與螺母緊固即可完成安裝,既降低了安裝過程中引入雜質的風險,又能快速完成設備更換與維護,減少停機時間。此外,所有 F 型直通式過濾器均經過 100% 完整性測試與 100% 氨氣檢漏測試,出廠品質有保障(注:F 型直通式過濾面積規格 2 不提供濾網式濾芯)。?
無論是半導體芯片制造的潔凈室氣路,還是精密電子元件生產的工藝氣體處理,F 型直通式過濾器都能以緊湊的結構、可靠的性能,為工藝氣體凈化提供高效解決方案。?